微分干涉LCD FPD測量顯微鏡 粒子分析

   測量顯微鏡主要用于LCD、PDP、PCB等相關(guān)的光電產(chǎn)業(yè)，具有觀察OLB壓接粒子分布、液晶板表面貼附的異物、液晶板劃傷情況、測量導(dǎo)電粒子大小、數(shù)量等功能。是一種兼顧影像與目視兩用的高精度、率測量儀器。它具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng)，是集光、機、電、算、影像于一體的測量型金相顯微鏡。該儀器用于電子組件、精密模具、精密刀具、塑料、PCB加工等方面，不僅可用作坐標(biāo)測量，還可以目鏡標(biāo)準(zhǔn)分劃板作顯微放大比較測量，測量螺紋的節(jié)距、外徑、牙角等工件尺寸或外形輪廓，ACF導(dǎo)電粒子形狀和瑕疵觀察，除應(yīng)用于長度、角度測量外，還可作為觀察顯微鏡。是機械、電子、儀表、鐘表、輕工、塑料行業(yè)，院校、研究所和計量檢定部門的計量室、實驗室已經(jīng)生產(chǎn)車間檢測設(shè)備之一。

1. 符合人機工程學(xué)設(shè)計準(zhǔn)則方便操作測量

2. 工作臺一鍵式氣動單手快速移動操作

3. 可實現(xiàn)Z軸自動對焦

4. 具有偏光和DIC檢測功能

5. 采用被動式減震裝置，提高整機精度穩(wěn)定性

6. 測量軟件，高清晰1/2"彩色攝像機

7. 可通過激光指示器尋找被測工件的具體位置，可適應(yīng)復(fù)雜工件的測量

8. 可實現(xiàn)高度輔助測量

9. Z軸光柵尺分辨力為0.1μm

10. 同軸光/底光測量

11. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度

測量顯微鏡工作原理如下圖所示，被測工件置于工作臺上，在底光或表面光照明下，它由物鏡成放大像，經(jīng)過分光與反射系統(tǒng)后，一路成像于目鏡分劃板上，人眼通過目鏡可觀察到一個放大的正像；另一路成像于彩色CCD上，攝像機攝取工件像后通過網(wǎng)口傳送至計算機及彩色液晶顯示器上，顯示出一個與工件*同向的放大清晰影像。我們可以通過目鏡或液晶顯示器對工件像進行瞄準(zhǔn)定位，通過數(shù)字測量系統(tǒng)：光柵尺與專業(yè)測量軟件對測量數(shù)據(jù)進行數(shù)據(jù)處理，即光柵尺的信號與計算機主機通訊，供專業(yè)軟件進行測量和數(shù)據(jù)處理。目視測量系統(tǒng)還可以利用目鏡分劃板上預(yù)先刻制好的標(biāo)準(zhǔn)圖形對工件進行比較測量。底光照明光源與顯微鏡自帶表面光源，視工件的性質(zhì)兩種照明可分別使用，也可同時使用。

何謂ACF(異方性導(dǎo)電膠)：其特點在于Z軸電氣導(dǎo)通方向與XY絕緣平面的電阻特性具有明顯的差異性。當(dāng)Z軸導(dǎo)通電阻值與XY平面絕緣電阻值的差異超過一定比值后，既可稱為導(dǎo)電異方性。貼合工藝：導(dǎo)電粒子在黏合劑中均勻分布,互不接觸,加之有一層絕緣膜,ACF 膜是不導(dǎo)電的,當(dāng)對ACF膜加壓、加熱后導(dǎo)電粒子絕緣膜破裂,并互相在有線路的部分(因為較無線路部分突起) 擠壓在一起,形成導(dǎo)通,被擠壓后的導(dǎo)電粒子體積是原來的3～4 倍(導(dǎo)電粒子體積不變，差別在于原本是球體狀，經(jīng)過熱壓后變成類似圓餅狀，讓上下電極有更多的面積接觸到導(dǎo)電粒子),加熱使黏合劑固化,保持導(dǎo)通狀態(tài)。
        注意點：導(dǎo)電粒子的粒徑分布和分布均勻性亦會對異方導(dǎo)電特性有所影響。通常，導(dǎo)電粒子必須具有的粒徑均一性和真圓度，以確保電極與導(dǎo)電粒子間的接觸面積一致，維持相同的導(dǎo)通電阻，并同時避免部分電極未接觸到導(dǎo)電粒子，導(dǎo)致開路的情形發(fā)生。常見的粒徑范圍在3~5μm之間，太大的導(dǎo)電粒子會降低每個電極接觸的粒子數(shù)，同時也容易造成相鄰電極導(dǎo)電粒子接觸而短路的情形；太小的導(dǎo)電粒子容易行成粒子聚集的問題，造成粒子分布密度不平均。

在這邊要先說明何謂微分干涉差系統(tǒng)：用四個的光學(xué)組件：偏振器（polarizer）、DIC棱鏡、DIC滑行器和檢偏器（analyzer）。偏振器直接裝在聚光系統(tǒng)的前面，使光線發(fā)生線性偏振。在聚光器中則安裝了石英Wollaston棱鏡，即DIC棱鏡，此棱鏡可將一束光分解成偏振方向不同的兩束光（x和y），二者成一小夾角。聚光器將兩束光調(diào)整成與顯微鏡光軸平行的方向。初兩束光相位一致，在穿過標(biāo)本相鄰的區(qū)域后，由于標(biāo)本的厚度和折射率不同，引起了兩束光發(fā)生了光程差。在物鏡的后焦面處安裝了第二個Wollaston棱鏡，即DIC滑行器，它把兩束光波合并成一束。這時兩束光的偏振面（x和y）仍然存在。后光束穿過第二個偏振裝置，即檢偏器。在光束形成目鏡DIC影像之前，檢偏器與偏光器的方向成直角。檢偏器將兩束垂直的光波組合成具有相同偏振面的兩束光，從而使二者發(fā)生干涉。x和y波的光程差決定著透光的多少。光程差值為0時，沒有光穿過檢偏器；光程差值等于波長一半時，穿過的光達到大值。于是在灰色的背景上，標(biāo)本結(jié)構(gòu)呈現(xiàn)出亮暗差。為了使影像的反差達到狀態(tài)，可通過調(diào)節(jié)DIC滑行器的縱行微調(diào)來改變光程差，光程差可改變影像的亮度。調(diào)節(jié)DIC滑行器可使標(biāo)本的細微結(jié)構(gòu)呈現(xiàn)出正或負的投影形象，通常是一側(cè)亮，而另一側(cè)暗，這便造成了標(biāo)本的人為三維立體感，類似大理石上的浮雕。

軟件功能：

1.   繪圖功能：可以畫點、畫線、畫圓、畫弧、畫并行線、畫垂直線、畫中分線、畫矩形、畫四邊形等復(fù)雜幾何圖形。
2.   多點取線、圓、弧功能：可選擇任意多的點畫圖增加測量準(zhǔn)確度，還可得出線的真直度和圓的真圓度等數(shù)據(jù)。
3.   找交點功能：可以自動捕捉線和線、線和圓或弧、圓和圓或弧等任意圖形的交點，方便測量需要。
測量功能：可測量線的長度；圓的直徑、半徑；弧的直徑、半徑、掃描角度；點到線的垂直距離；圓到線的垂直距離；圓到圓的距離；并行線 間距；線排的Pitch間距；角度；兩點的線性距離等尺寸。
宏命令：可把上一次測量過程記錄下來，同樣的工件既可以調(diào)出來使用。一個命令即可完成上一個工件的全部操作，降低的軟件操作難度、提 高了測量速度。
6.   自動檢測：可以自動檢測工件上的線、圓、弧、并行線、角度等幾何圖形，還可以對工件進行邊緣掃描。快速而準(zhǔn)確。
7.   十字線繪圖功能：可以用軟件上的十字線結(jié)合腳踏板繪圖、測量，降低操作難度，提高學(xué)習(xí)速度。
8.   自動R角功能：可以根據(jù)工件上的邊線自動作出和兩邊相切的R角，增加了測量速度和測量精度。
9.   標(biāo)注功能：可標(biāo)注所有測量尺寸方便拍照。
10. 編輯功能：可以任意移動、復(fù)制、旋轉(zhuǎn)、鏡像、刪除、打斷、延伸所畫圓素，操作方便快捷，配合編輯功能可測量任意復(fù)雜
      幾何尺寸。
11. 拍照功能：可以隨時抓取工件照片及標(biāo)注尺寸和所繪的圖形，可打印或發(fā)給他人遠程使用。
12. 儲存Word數(shù)據(jù)功能：可以隨時儲存測量數(shù)據(jù)到Word中，得出測量結(jié)果的質(zhì)量檢測報告，測量數(shù)據(jù)不用人工抄寫，增加測量速
      度。
13. 儲存Excel數(shù)據(jù)功能：可以隨時儲存測量數(shù)據(jù)到中，得出測量結(jié)果的質(zhì)量檢測報告，測量數(shù)據(jù)不用人工抄寫，增加測量
      速度,同時也可以做SPC數(shù)據(jù)分析。
14. 儲存DXF檔案功能：可將所畫工件的工程圖儲存為AutoCAD檔案，可用AutoCAD開啟生成工件的工程圖紙。
 

終解釋:北京品智創(chuàng)思精密儀器有限公司